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【図書】 ＭＥＭＳデバイス徹底入門

「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ --
三田吉郎 ／著   -- 日刊工業新聞社 -- ２０１８．８ -- ２１ｃｍ -- １８８ｐ

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タイトル ＭＥＭＳデバイス徹底入門
副書名 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ
著者名等 三田吉郎 ／著  
出版 日刊工業新聞社 ２０１８．８
大きさ等 ２１ｃｍ １８８ｐ
分類 530
件名 マイクロマシン
注記 欧文タイトル：Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　ｔｏ　ＭＥＭＳ　ｄｅｖｉｃｅｓ
注記 索引あり
著者紹介 東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻准教授。文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム微細加工プラットフォーム。東京大学ＶＤＥＣ「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」マネージャ。１９７２年広島県呉市生まれ。２０００年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業。博士（工学）。（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
要旨 これは、ただの解説本ではない！豊富な実験例と平易な文章でスキルと知識が自然と身に付く、初心者からベテランまで必携の一冊！
目次 第１章　ＭＥＭＳを“つかう”（電子情報機器の用途―どこでもＭＥＭＳの時代；電子情報機器の仕組み―入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路；百聞は一見に如かず１―秋葉原で買ったＭＥＭＳ大集合　ほか）；第２章　ＭＥＭＳを“わかる”（百聞は一見に如かず２―ばね＋マス＝ＭＥＭＳ構造を理解する；ＭＥＭＳが加速度を感じる仕組み―マスとばねとの力の釣り合い；重なり変化で変位を検知―くし歯静電容量による読み出しの原理　ほか）；第３章　ＭＥＭＳを“つくる”（百聞は一見に如かず４―「実験用ＭＥＭＳ」で見るＭＥＭＳ構造と製法；フォトリソグラフィ大研究―ＭＥＭＳは「積んで、リソして、削って」作る；パターンを転写してＭＥＭＳを形作る―Ｄｅｅｐ　ＲＩＥ　ほか）
ISBN(13)、ISBN 978-4-526-07871-2　　 4-526-07871-9
書誌番号 1113618629
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1113618629

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 Map 530 一般書 利用可 - 2063569448 iLisvirtual
磯子 公開 Map 530 一般書 利用可 - 2063371745 iLisvirtual

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