技術大全シリーズ --
関東学院大学材料・表面工学研究所 /編   -- 日刊工業新聞社 -- 2019.3 -- 21cm -- 285p

資料詳細

タイトル ドライプロセス表面処理大全
シリーズ名 技術大全シリーズ
著者名等 関東学院大学材料・表面工学研究所 /編  
出版 日刊工業新聞社 2019.3
大きさ等 21cm 285p
分類 566.7
件名 金属表面処理 , 薄膜 , 真空蒸着
注記 文献あり 索引あり
要旨 ドライプロセス表面処理技術は、めっきを中心とするウェットプロセスとともに、薄膜材料形成に広く使われている。エレクトロニクス分野、光学分野、機械分野だけでなく、医療や食品分野までもその活用が期待されている。
目次 第1章 ドライプロセスの基礎;第2章 ドライプロセスの特徴と種類;第3章 物理蒸着(PVD)法;第4章 化学蒸着(CVD)法;第5章 ドライプロセス表面加工法;第6章 ドライプロセス表面改質法;第7章 ドライプロセスの応用;第8章 機能性薄膜;第9章 ドライプロセスの最新技術・研究
ISBN(13)、ISBN 978-4-526-07968-9   4-526-07968-5
書誌番号 1113676471

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