資料詳細

【図書】 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用

ＭＥＭＳ，ＮＥＭＳ，センサ，ＣＭＯＳＬＳＩの融合 -- 普及版 -- 新材料・新素材シリーズ --
益一哉／監修, 年吉洋／監修, 町田克之／監修 -- シーエムシー出版 -- ２０１９．４ -- ２６ｃｍ -- ２７９ｐ

タイトル	異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用
副書名	ＭＥＭＳ，ＮＥＭＳ，センサ，ＣＭＯＳＬＳＩの融合
版情報	普及版
シリーズ名	新材料・新素材シリーズ
著者名等	益一哉／監修, 年吉洋／監修, 町田克之／監修
出版	シーエムシー出版２０１９．４
大きさ等	２６ｃｍ２７９ｐ
分類	549.7
件名	集積回路
注記	欧文タイトル：Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｆｏｒ　Ｈｅｔｅｒｏｇｅｎｅｏｕｓ　Ａｄｖａｎｃｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅｓ：Ｂａｓｉｃｓ　ａｎｄ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ
著者紹介	【益一哉】東京工業大学ソリューション研究機構教授。（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
目次	第１編　総論編；第２編　プロセス技術編；第３編　回路・デバイス設計技術編；第４編　ＮＥＭＳ技術編；第５編　センサ技術編；第６編　ＲＦ‐ＭＥＭＳ技術編；第７編　エネルギーハーベスト技術編；第８編　実装技術編；第９編　解析・評価技術編
ISBN(13)、ISBN	978-4-7813-1364-1　　 4-7813-1364-7
書誌番号	1113681155

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学		549.7	一般書	貸出中	-	2064682000