応用物理学会・ナノインプリント技術研究会 /編   -- オーム社 -- 2019.11 -- 27cm -- 781p

資料詳細

タイトル ナノインプリント技術ハンドブック
著者名等 応用物理学会・ナノインプリント技術研究会 /編  
出版 オーム社 2019.11
大きさ等 27cm 781p
分類 549.8
件名 ナノインプリント
注記 欧文タイトル:Nanoimprint Technology Handbook
注記 付属資料:CD-ROM(1枚 12cm)
注記 索引あり
目次 第1編 基礎編(序論;ナノインプリント関連技術;ナノインプリントの基礎物理化学とシミュレーション;熱ナノインプリント;光ナノインプリント;各種ナノインプリント;ナノインプリント材料;平行平板型ナノインプリント;ローラ型ナノインプリント;モールド作成技術;評価技術);第2編 応用編(光学デバイス応用;バイオデバイス応用;エネルギーデバイス応用;電子デバイス応用;関連する応用デバイス);第3編 資料編(ナノインプリント関連資料)
ISBN(13)、ISBN 978-4-274-22448-5   4-274-22448-1
書誌番号 1113744040
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1113744040

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
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