資料詳細

【図書】 薄膜作製応用ハンドブック

２０２０版 --
權田俊一／監修, 酒井忠司／編集委員, 田畑仁／編集委員, 八瀬清志／編集委員 -- エヌ・ティー・エス -- ２０２０．２ -- ２７ｃｍ -- １４６８，２１ｐ　図版２７枚

タイトル	薄膜作製応用ハンドブック
版情報	２０２０版
著者名等	權田俊一／監修, 酒井忠司／編集委員, 田畑仁／編集委員, 八瀬清志／編集委員
出版	エヌ・ティー・エス２０２０．２
大きさ等	２７ｃｍ１４６８，２１ｐ　図版２７枚
分類	549.8
件名	薄膜
注記	欧文タイトル：Ｈａｎｄｂｏｏｋ　ｏｆ　Ｔｈｉｎ　Ｆｉｌｍ　Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　ａｎｄ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ
注記	索引あり
注記	布装
目次	第１編　薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特性と特徴；薄膜材料の電気特性　ほか）；第２編　薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法　ほか）；第３編　薄膜・表面・界面の分析・評価（薄膜・表面・界面の分析評価法；薄膜分析・評価対象各論）；第４編　薄膜技術の応用と展望（電子デバイス；光部品　ほか）
ISBN(13)、ISBN	978-4-86043-631-5　　 4-86043-631-8
書誌番号	1113763793
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1113763793

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学 Map	参考書	549	一般書	利用可	館内のみ	2066021109