資料詳細

  • 1 件中、 1 件目
  • NEW

【図書】 薄膜工学

第４版 --
日本学術振興会Ｒ０２５先進薄膜界面機能創成委員会 ／編集企画, 田畑仁 ／編著, 吉田貞史 ／編著, 近藤高志 ／編著   -- 丸善出版 -- ２０２４．７ -- ２１ｃｍ -- ３１０ｐ

資料詳細

タイトル 薄膜工学
版情報 第４版
著者名等 日本学術振興会Ｒ０２５先進薄膜界面機能創成委員会 ／編集企画, 田畑仁 ／編著, 吉田貞史 ／編著, 近藤高志 ／編著  
出版 丸善出版 ２０２４．７
大きさ等 ２１ｃｍ ３１０ｐ
分類 549.8
件名 薄膜
注記 索引あり
要旨 薄膜技術は長い歴史をもつ基礎的な技術であり、応用される分野は広い。とくに今日のナノテクノロジーは、微細加工・微細構造作製技術と組み合わされた薄膜技術なしには成り立たない。本書は薄膜の作製・評価・性質を系統的にまとめた解説書である。基本を重視する従来の編集方針はそのままに、第４版では新たに３項目「半導体薄膜（ワイドバンドギャップ材料）」「ハロゲン化金属ペロブスカイト薄膜（太陽電池への応用）」「２次元材料薄膜（グラフェン、ＭＸ２など）」を追加。薄膜技術の基礎・応用に携わる学生、研究者、技術者にとって最適な一冊である。
目次 １　薄膜工学の基礎（薄膜の歴史；薄膜と工学；薄膜形成技術；薄膜の応用）；２　薄膜作製法（真空蒸着法・ＭＢＥ法；スパッタリング化学気相成長；印刷法）；３　薄膜評価法（膜厚・形状評価；結晶構造評価；組成・状態分析；力学特性の評価）；４　薄膜の機能と応用（半導体薄膜（シリコン系）；半導体薄膜（化合物）　ほか）
ISBN(13)、ISBN 978-4-621-30978-0　　 4-621-30978-1
書誌番号 1124022886
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1124022886

ページの先頭へ

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 1 件です。

所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 549.8 一般書 貸出中 - 2076851045 iLisvirtual

ページの先頭へ