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【図書】 極微構造エレクトロニクス

難波進 ／編著   -- オーム社 -- １９８６．４ -- ２７ｃｍ -- ５２２ｐ

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タイトル 極微構造エレクトロニクス
著者名等 難波進 ／編著  
出版 オーム社 １９８６．４
大きさ等 ２７ｃｍ ５２２ｐ
分類 549
件名 マイクロエレクトロニクス
内容 各章末：文献
要旨 近年，エレクトロニクス技術の進展は目覚ましく，中でも半導体電子デバイスの高密度集積化・微細化は，１０数年後に理論的限界に到達するとみられています．このため，高精度超微細加工技術研究の促進が要請されており，文部省特定研究「極微構造エレクトロニクス」の研究活動が展開されました．本書は，これをふまえて，一般向きの解説と基礎的事項を加え，専門の研究者だけではなく広く周辺の技術者にも理解できるように，体系立てた最新の専門参考書となっています．
目次 緒論；極微構造における電子状態；結晶成長と極微構造デバイス基礎特性；極微構造材料プロセス技術；極微構造加工技術；極微構造エレクトロニクスの応用
ISBN(13)、ISBN 　　 4-274-03107-1
書誌番号 1190221046

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549/131 一般書 利用可 - 0004442687 iLisvirtual

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