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【図書】 シリコン結晶とドーピング

電子材料シリーズ --
阿部孝夫 ／〔ほか〕著   -- 丸善 -- １９８６．６ -- ２２ｃｍ -- ２３０ｐ

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タイトル シリコン結晶とドーピング
シリーズ名 電子材料シリーズ
著者名等 阿部孝夫 ／〔ほか〕著  
出版 丸善 １９８６．６
大きさ等 ２２ｃｍ ２３０ｐ
分類 549.8
件名 シリコン（半導体）
内容 各章末：文献
要旨 半導体プロセス技術の出発点であるシリコン単結晶成長と、同技術の中心となる不純物ドーピングについて、ＶＬＳＩデバイスからの要求にそって、最新の技術を解説。単結晶成長およびドーピングはいずれも古い歴史があるが、ＶＬＳＩのように高集積化すると、従来の技術に変更を加えざるをえない。そこで、本書では結晶・ドーピング技術とデバイスとの関連を明らかにすることに重点を置いて詳述している。
目次 １　結晶とエピタキシ；２　不純物拡散；３　イオン注入
ISBN(13)、ISBN 　　 4-621-03082-5
書誌番号 1190226668

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所蔵

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.8/83 一般書 利用可 - 0003788393 iLisvirtual

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