半導体基盤技術研究会 /編   -- リアライズ社 -- 1986.9 -- 27cm -- 463p

資料詳細

タイトル 超高純度ガス供給システム
著者名等 半導体基盤技術研究会 /編  
出版 リアライズ社 1986.9
大きさ等 27cm 463p
分類 534.6
件名 ガス管 , ガス器具 , 半導体
注記 監修:大見忠弘,新田雄久
内容 各章末:参考文献
書誌番号 1190243299
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190243299

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 534.6/30 一般書 利用可 - 0004099028 iLisvirtual