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【図書】 レーザラマン分光法による半導体の評価

河東田隆 ／著   -- 東京大学出版会 -- １９８８．４ -- ２２ｃｍ -- １９４ｐ

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タイトル レーザラマン分光法による半導体の評価
著者名等 河東田隆 ／著  
出版 東京大学出版会 １９８８．４
大きさ等 ２２ｃｍ １９４ｐ
分類 428.8
件名 半導体 , ラマン分光分析
内容 各章末：参考文献
目次 １　レーザラマン分光法の原理と装置；２　半導体評価技術としてのラマン分光法の特徴；３　結晶の面方位の測定；４　物質の同定―陽極酸化膜‐半導体構造中の遊離物質の評価；５　化合物半導体表面のストレスの評価；６　結晶構造の乱れの評価〈１〉―ＧａＡｓイオン注入層の構造評価；７　結晶構造の乱れの評価〈２〉―アモルファスシリコンの評価；８　局在モードに基づく半導体中の不純物の評価；９　プラズモン‐ＬＯフォノン結合モードに基づく電気的特性評価；１０　混晶半導体の評価；１１　超格子構造とその無秩序化の評価
ISBN(13)、ISBN 　　 4-13-060119-9
書誌番号 1190275889

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中央 ４階自然科学 Map 428.8 一般書 利用可 - 0001633970 iLisvirtual

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