資料詳細

【図書】 １００例にみる半導体評価技術

Ｋ　ｂｏｏｋｓ --
宇佐美晶／著 -- 工業調査会 -- １９８８．５ -- １９ｃｍ -- １９１ｐ

タイトル	１００例にみる半導体評価技術
シリーズ名	Ｋ　ｂｏｏｋｓ
著者名等	宇佐美晶／著
出版	工業調査会１９８８．５
大きさ等	１９ｃｍ１９１ｐ
分類	549.8
件名	半導体
内容	各章末：参考文献
要旨	ＬＳＩや光デバイスなどを中心とする半導体デバイスがシステムの基幹デバイスとして重宝がられてから久しい。このデバイスを陰で支えているのが評価技術である。半導体評価技術はデバイスを形成するための材料の評価技術、デバイスを製造するプロセスの評価技術、さらに製造されたＬＳＩなどのデバイスの評価に大別できる。本書ではこれらの中から基幹となるような１００項目を取り上げ、できるだけ数式を用いずに平易に解説している。
目次	第１編　材料評価技術（オフライン評価技術；オンライン材料評価）；第２編　デバイス工程評価技術（オンライン工程評価技術；ｉｎ‐ｓｉｔｕ評価技術）；第３編　デバイス評価技術（個別デバイスの評価；ＬＳＩの評価技術）
ISBN(13)、ISBN	4-7693-6064-9
書誌番号	1190280234
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190280234

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		549.8/156	一般書	利用可	-	0004146778