資料詳細

【図書】 フォトポリマー・テクノロジー

山岡亜夫，永松元太郎／編, 　 -- 日刊工業新聞社 -- １９８８．１２ -- ２２ｃｍ -- ６７２ｐ

タイトル	フォトポリマー・テクノロジー
著者名等	山岡亜夫，永松元太郎／編,
出版	日刊工業新聞社１９８８．１２
大きさ等	２２ｃｍ６７２ｐ
分類	578.4
件名	感光性樹脂
注記	執筆：愛英夫ほか
内容	文献：ｐ６５５～６６１
要旨	フォトポリマーの歴史は古く１９世紀前半にさかのぼる。もともと、印刷製版や金属のエッチング加工の材料として用いられていたが、電子工業の分野で各種デバイスや半導体製造に用いられるようになり、現在では先端材料として見なされるにいたっている。本書はできるだけ最新の情報を盛り込んだ、フォトポリマー全般の解説書となることを目標とした。
目次	１　フォトポリマーの基礎；２　フォトポリマーの光化学；３　フォトポリマーの光学と物理化学；４　フォトポリマーにおける計測と制御；５　フォトポリマー用光源・装置；６　フォトポリマー応用技術；７　マイクロリソグラフィ
ISBN(13)、ISBN	4-526-02457-0
書誌番号	1190293847
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190293847

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		578.4/63	一般書	利用可	-	0004336410