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【図書】 化学技術者のための超ＬＳＩ技術入門

化学工学協会 ／編   -- 培風館 -- １９８９．４ -- ２２ｃｍ -- １９９ｐ

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タイトル 化学技術者のための超ＬＳＩ技術入門
著者名等 化学工学協会 ／編  
出版 培風館 １９８９．４
大きさ等 ２２ｃｍ １９９ｐ
分類 549.7
件名 集積回路
注記 執筆：仲勇治ほか
要旨 本書は、今日の代表的な最先端技術である超ＬＳＩ技術を、化学技術者の目で見、理解してまとめられたものである。すなわち超ＬＳＩのしくみ、市場問題や今までの発展過程を述べたあと、超ＬＳＩ製造プロセスとそれを支える要素技術・パッケージング技術・評価技術を紹介し、解決が望まれている問題点を明らかにしている。
目次 １　超ＬＳＩの開く世界；２　半導体マーケット；３　半導体技術の歩みと展望；４　超ＬＳＩのしくみ；５　超ＬＳＩ製造プロセス；６　周辺技術；７　今後の技術的諸課題；８　ケミカルエンジニアリングからのアプローチ
ISBN(13)、ISBN 　　 4-563-04514-4
書誌番号 1190301308

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所蔵

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.7/97 一般書 利用可 - 0005844835 iLisvirtual

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