資料詳細

【図書】 精密位置決め技術

その設計テクニック --
井沢実／編著 -- 工業調査会 -- １９８９．４ -- ２２ｃｍ -- ３６２ｐ

タイトル	精密位置決め技術
副書名	その設計テクニック
著者名等	井沢実／編著
出版	工業調査会１９８９．４
大きさ等	２２ｃｍ３６２ｐ
分類	548.3
件名	自動制御
内容	各章末：参考文献
目次	第１編　総論（精密位置決めの意義と問題点）；第２編　精密位置決め系の構成要素（アクチュエータ；運動伝達要素；案内用要素；位置検出用要素）；第３編　精密位置決めのための制御系（制御方式と特長；制御系の実際）；第４編　精密位置決めの主な問題点と対策（振動問題と対策；剛性の問題と対策）；第５編　精密位置決めの設計例（ＳＴＭ〈走査型トンネル顕微鏡〉；非球面加工機；光ディスクマスタリング装置；半導体製造用装置；精密測定器〈真円度測定器〉）
ISBN(13)、ISBN	4-7693-2085-X
書誌番号	1190302449
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190302449

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		548.3/369	一般書	利用可	-	0004145194