サブミクロン素子への展開 --
中野朝安 /〔ほか〕共著   -- 東京電機大学出版局 -- 1989.3 -- 21cm -- 240p

資料詳細

タイトル 微細加工
副書名 サブミクロン素子への展開
著者名等 中野朝安 /〔ほか〕共著  
出版 東京電機大学出版局 1989.3
大きさ等 21cm 240p
分類 549.7
件名 集積回路
内容 参考文献:p231~234
書誌番号 1190305669
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190305669

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.7/200 一般書 利用可 - 0003950220 iLisvirtual