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【図書】 表面と薄膜分析技術の基礎

Ｌ．Ｃ．フェルドマン，Ｊ．Ｗ．メイヤー ／著, 栗山一男，山本康博 ／訳, 　 , 　 , 　 , 　   -- 海文堂出版 -- １９８９．６ -- ２２ｃｍ -- ３５３ｐ

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タイトル 表面と薄膜分析技術の基礎
著者名等 Ｌ．Ｃ．フェルドマン，Ｊ．Ｗ．メイヤー ／著, 栗山一男，山本康博 ／訳, 　 , 　 , 　 , 　  
出版 海文堂出版 １９８９．６
大きさ等 ２２ｃｍ ３５３ｐ
分類 428.4
件名 表面（工学）
注記 Ｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌｓ　ｏｆ　ｓｕｒｆａｃｅ　ａｎｄ　ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍ　ａｎａｌｙｓｉｓ．／の翻訳
内容 各章末：文献
要旨 本書では、イオン、電子、光子等の固体内の振舞いを示すとともに、その結果として生ずる現象を材料分析に応用する際の理論的根拠、分析を行うための装置構成、さらには実際の分析を行う際に遭遇するであろう問題点を、豊富な例題をまじえて解説している。
目次 １章　序章―概念、単位、そしてボーア原子；２章　原子衝突と後方散乱法；３章　軽イオンのエネルギー損失と深さプロファイル；４章　スパッタによる深さプロファイル―２次イオン質量分析法；５章　チャネリング；６章　電子‐電子相互作用と分子分光法の深さ感度；７章　表面構造解析；８章　固体中の光子吸収とＥＸＡＦＳ；９章　Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）；１０章　放射遷移と電子マイクロプローブ；１１章　非放射遷移とオージェ電子分光法；１２章　核技術―放射化分析と即発放射線分析
ISBN(13)、ISBN 　　 4-303-71200-0
書誌番号 1190306579

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 428.4/57 一般書 利用可 - 0004328230 iLisvirtual

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