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【図書】 真空技術ハンドブック

金持徹 ／編   -- 日刊工業新聞社 -- １９９０．３ -- ２２ｃｍ -- ８２６，１２ｐ

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タイトル 真空技術ハンドブック
著者名等 金持徹 ／編  
出版 日刊工業新聞社 １９９０．３
大きさ等 ２２ｃｍ ８２６，１２ｐ
分類 534.93
件名 真空
内容 各章末：参考文献
目次 第１章　真空の科学（真空の特徴；気体の考え方；気体分子運動論；気体分子運動論から導かれる諸関係）；第２章　真空システム（コンダクタンス；実効排気速度と到達圧力；排気系設計のポイント；超高真空システムの極高真空システム；真空部品；真空材料；極高真空装置用の材料とガス放出）；第３章　真空ポンプ（真空ポンプの現状と開発動向；油回転ポンプ；ルーツポンプ；ドライ真空ポンプ；油拡散ポンプ；ターボ分子ポンプ；クライオポンプ；スパッタイオンポンプ；チタンサブリメーションポンプ）；第４章　真空計測（全圧計・分圧計の種類と利用法；熱伝導真空計；電離真空計；スピニングローター真空計；隔膜真空計；全圧計の校正；極高真空全圧計とその校正；四極子マスフィルタ）；第５章　真空装置の管理（真空装置のトラブルとその対策；各種の真空装置における洩れ探し；ヘリウムリークデテクタとその使用技術；真空装置の汚染に関するトラブル）；第６章　真空を利用した薄膜製造装置（真空蒸着法；分子線エピタキシー；スパッタ法；イオンプレーティングとその応用技術；イオンビームによる薄膜形成；ドライエッチング技術；ＣＶＤ法）；第７章　真空を利用した薄膜製造技術（薄・
ISBN(13)、ISBN 　　 4-526-02677-8
書誌番号 1190353980
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190353980

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 534.9/45 一般書 利用可 館内のみ 0003885429 iLisvirtual

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