化学工学会 /編   -- 朝倉書店 -- 1991.6 -- 22cm -- 800,18p

資料詳細

タイトル CVDハンドブック
著者名等 化学工学会 /編  
出版 朝倉書店 1991.6
大きさ等 22cm 800,18p
分類 571
件名 薄膜
内容 各章末:文献
目次 1 緒論;2 半導体;3 セラミックス;4 CVD反応装置の設計;付表 無機物質の物理化学的性質
ISBN(13)、ISBN    4-254-25234-X
書誌番号 1190383082
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190383082

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 571/62 一般書 利用可 館内のみ 0004388054 iLisvirtual