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【図書】 半導体製造装置用語辞典

第２版 --
日本半導体製造装置協会 ／編   -- 日刊工業新聞社 -- １９９１．９ -- ２２ｃｍ -- ４１９ｐ

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タイトル 半導体製造装置用語辞典
版情報 第２版
著者名等 日本半導体製造装置協会 ／編  
出版 日刊工業新聞社 １９９１．９
大きさ等 ２２ｃｍ ４１９ｐ
分類 549.8
件名 半導体
要旨 旧版用語・内容を全面的に見直し、整理・追加を加えて、用語数２２００語を掲載。より使いやすい実務辞典。
目次 第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成；第２章　設計工程用語；第３章　マスク製作工程用語；第４章　ウェーハ製造工程用語；第５章　ウェーハ処理工程用語；第６章　組立工程用語；第７章　検査工程用語；第８章　設備・環境工程用語；資料
ISBN(13)、ISBN 　　 4-526-02987-4
書誌番号 1190432100

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.8/3/1991 一般書 利用可 館内のみ 0004624343 iLisvirtual

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