表面・薄膜分子設計シリーズ --
山田公 /著   -- 共立出版 -- 1991.9 -- 19cm -- 114p

資料詳細

タイトル イオンビームによる薄膜設計
シリーズ名 表面・薄膜分子設計シリーズ
著者名等 山田公 /著  
出版 共立出版 1991.9
大きさ等 19cm 114p
分類 549
件名 薄膜 , イオンビーム
注記 叢書の編者:日本表面科学会
内容 各章末:文献
目次 第1章 薄膜の形成;第2章 イオンビームの作用;第3章 種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法;第4章 プラズマ中での薄膜形成法;第5章 真空中での薄膜形成法
ISBN(13)、ISBN    4-320-08515-9
書誌番号 1190433133

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549/216 一般書 利用可 - 0004654137 iLisvirtual