資料詳細

【図書】 マイクロメカニカルシステム

実用化技術総覧 --
樋口俊郎，生田幸士／編, 　 -- フジ・テクノシステム -- １９９２．３ -- ２７ｃｍ -- ７１４ｐ

タイトル	マイクロメカニカルシステム
副書名	実用化技術総覧
著者名等	樋口俊郎，生田幸士／編,
出版	フジ・テクノシステム１９９２．３
大きさ等	２７ｃｍ７１４ｐ
分類	530
件名	マイクロマシン
内容	各章末：参考・引用文献
要旨	本書は、所謂シリコンのマイクロマシニングなどによる革新的な技術にその内容。
目次	第１編　基礎論（要素技術；材料）；第２編　微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工；機械部品加工のためのエッチング；真空蒸着；イオンプレーティング；ＣＶＤ、気相成長法；スパッタリング法；エッチング；シンクロトロン放射光等）；第３編　マイクロメカニズムの要素（コンベンショナルな手法によるマイクロ機械要素；新しい手法によるマイクロ機械要素；微小量の測定および評価）；第４編　マイクロメカニズム事例（センサ；マイクロメカニズム；バイオ・医学用への応用）
ISBN(13)、ISBN	4-938555-28-X
書誌番号	1193007064
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1193007064

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		530/20	一般書	利用可	館内のみ	0005496047