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【図書】 ＰＶＤ・ＣＶＤ皮膜の基礎と応用

表面技術協会 ／編   -- 槙書店 -- １９９４．０９ -- ２２ｃｍ -- ４０６ｐ

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タイトル ＰＶＤ・ＣＶＤ皮膜の基礎と応用
著者名等 表面技術協会 ／編  
出版 槙書店 １９９４．０９
大きさ等 ２２ｃｍ ４０６ｐ
分類 571
件名 薄膜
注記 各章末：参考文献
要旨 本書は、主として一般の機械部品に対するＰＶＤ・ＣＶＤ皮膜の応用を採り上げ、実施例を編を分けて詳細に記述し、さらに基礎編を設け原理原則を明らかにし、技術の理解とその発展に役立つように配慮しました。
目次 第１編　ＰＶＤおよびＣＶＤの概要（ＰＶＤおよびＣＶＤの基礎的事項；プラズマ技術の基礎と薄膜形成；ドライプロセスによる薄膜の結晶配向性、モルフォロジと諸特性　ほか）；第２編　ＰＶＤ皮膜の種々の応用例（工具・金型への応用例；機能部品への応用例；装飾用部品への応用例　ほか）；第３編　ＣＶＤ皮膜の種々の応用例（工具および金型への応用例；機能部品への応用例；耐食性・耐熱機能皮膜としての応用例　ほか）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-8375-0627-5
書誌番号 1194068421

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所蔵

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 571/64 一般書 利用可 - 2001680342 iLisvirtual

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