資料詳細

【図書】 半導体製造装置用語辞典

第３版 --
日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- １９９４．１１ -- ２２ｃｍ -- ４８６ｐ

タイトル	半導体製造装置用語辞典
版情報	第３版
著者名等	日本半導体製造装置協会／編
出版	日刊工業新聞社１９９４．１１
大きさ等	２２ｃｍ４８６ｐ
分類	549.8
件名	半導体－辞典
注記	引用文献一覧表：ｐ３９８
要旨	半導体デバイス製造に関する用語辞典。７つの工程順に分け、その中をさらに分類順に構成する。各項目内は用語・読み方・意味・英訳を表形式で掲載する。巻末の資料編には、引用文献一覧表、半導体製造装置構成表などの図解、国際単位系計量単位がある。日本語索引・英語索引を付す。１９８７年初版刊行のものの第３版にあたる。
目次	第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成；第２章　設計工程用語；第３章　マスク製作工程用語；第４章　ウェーハ製造工程用語；第５章　ウェーハ処理工程用語；第６章　組立工程用語；第７章　検査工程用語；第８章　設備・環境工程用語
ISBN(13)、ISBN	4-526-03613-7
書誌番号	1194042054
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1194042054

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		549.8/3/1994	一般書	利用可	館内のみ	2002351750