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【図書】 ウルトラクリーンＵＬＳＩ技術

アドバンストエレクトロニクスシリーズ -- エレクトロニクス材料・物性・デバイス
大見忠弘 ／著   -- 培風館 -- １９９５．１２ -- ２２ｃｍ -- ３６６ｐ

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タイトル ウルトラクリーンＵＬＳＩ技術
シリーズ名 アドバンストエレクトロニクスシリーズ エレクトロニクス材料・物性・デバイス
著者名等 大見忠弘 ／著  
出版 培風館 １９９５．１２
大きさ等 ２２ｃｍ ３６６ｐ
分類 549.7
件名 集積回路
内容 各章末：参考文献
要旨 本書は、幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者が、クリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説し、併せてその技術によって可能となる新デバイスにまで言及した大変示唆に富む解説書。
目次 ４端子デバイスエレクトロニクス；高精度トータル低温化プロセス；表面・界面のウルトラクリーン化技術；クリーン表面とガス分子の相互作用
ISBN(13)、ISBN 　　 4-563-03615-3
書誌番号 1195071029

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所蔵

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.7/121 一般書 利用可 - 2006527410 iLisvirtual

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