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【図書】 薄膜作成の基礎

第３版 --
麻蒔立男 ／著   -- 日刊工業新聞社 -- １９９６．０３ -- ２１ｃｍ -- ３５７，４ｐ

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タイトル 薄膜作成の基礎
版情報 第３版
著者名等 麻蒔立男 ／著  
出版 日刊工業新聞社 １９９６．０３
大きさ等 ２１ｃｍ ３５７，４ｐ
分類 549
件名 薄膜
内容 各章末：参考文献
要旨 今日、薄膜を作るには真空を用いることが常識となっている。本書ではまず薄膜を作るために必要な真空技術を前半で理解し、後半で薄膜を作るための技術―薄膜作成技術ともいうべき多数の技術について述べる。
目次 第１章　薄膜技術；第２章　真空の基礎；第３章　真空ポンプと真空計測；第４章　真空装置の実際；第５章　薄膜の基礎；第６章　薄膜作成法；第７章　蒸着法；第８章　スパッタ；第９章　熱酸化窒化と気相成長ＣＶＤ；第１０章　エッチング；第１１章　平坦化技術
ISBN(13)、ISBN 　　 4-526-03831-8
書誌番号 1196018098

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所蔵

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549/278 一般書 利用可 - 2007326664 iLisvirtual

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