日本半導体製造装置協会 /編   -- 日刊工業新聞社 -- 1996.10 -- 22cm -- 494p

資料詳細

タイトル 液晶ディスプレイ製造装置用語辞典
著者名等 日本半導体製造装置協会 /編  
出版 日刊工業新聞社 1996.10
大きさ等 22cm 494p
分類 549
件名 電子光学 , 液晶
内容 引用文献一覧表:p419
目次 第1章 工程フローと基礎および装置用語の構成;第2章 アレイマスク製造工程用語;第3章 アレイ製造工程用語;第4章 カラーフィルタ製造工程用語;第5章 パネル(セル)製造工程用語;第6章 モジュール製造工程用語;第7章 検査工程用語;第8章 設備・環境工程用語
ISBN(13)、ISBN    4-526-03926-8
書誌番号 1196064762
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1196064762

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549/103 一般書 利用可 館内のみ 2009149557 iLisvirtual