資料詳細

【図書】 半導体立国

製造装置の明日を語る --
日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- １９９６．１１ -- １９ｃｍ -- ２５８ｐ

タイトル	半導体立国
副書名	製造装置の明日を語る
著者名等	日本半導体製造装置協会／編
出版	日刊工業新聞社１９９６．１１
大きさ等	１９ｃｍ２５８ｐ
分類	549.8
件名	半導体
注記	監修：金山敏彦
要旨	本書は、単に特定の業界の内幕話ではなく、半導体という先端技術産業の今後の進展を占う、生きた素材を提供している。
目次	第１章　「超ＬＳＩ」ブレークスルーの鍵　露光装置；第２章　多様化と標準化の両立を求めて―エッチング・レジスト処理・洗浄装置；第３章　枚葉化と標準化の大きなうねり―拡散・熱処理装置；第４章　ユーザーとの相互協力で時代にミート―イオン注入装置；第５章　日本にもほしいロードマップ―スパッタリング装置・ＣＶＤ装置；第６章　安定生産ニーズにいかに応えるか―組立装置；第７章　プローバ、ハンドラ、テスタメーカー三者一体となった開発が必要―検査装置
ISBN(13)、ISBN	4-526-03937-3
書誌番号	1196068327

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		549.8/232	一般書	利用可	-	2008702937