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【図書】 超微細加工技術

応用物理学シリーズ -- 専門コース
徳山巍 ／著   -- オーム社 -- １９９７．０２ -- ２２ｃｍ -- ３０９ｐ

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タイトル 超微細加工技術
シリーズ名 応用物理学シリーズ 専門コース
著者名等 徳山巍 ／著  
出版 オーム社 １９９７．０２
大きさ等 ２２ｃｍ ３０９ｐ
分類 549.7
件名 集積回路
注記 叢書の編者：応用物理学会
内容 各章末：参考文献
要旨 各種技術を幅広く網羅！今後の応用・将来動向までを考察する。
目次 光リソグラフィ技術；電子線リソグラフィ技術；イオンビームリソグラフィ技術；Ｘ線リソグラフィ技術；レジスト材料；エッチング技術；形状シミュレーション技術；超微細加工技術の応用
ISBN(13)、ISBN 　　 4-274-02332-X
書誌番号 1197011252

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所蔵

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.7/147 一般書 利用可 - 2010646904 iLisvirtual

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