資料詳細

【図書】 ＵＬＳＩプロセス技術

アドバンストエレクトロニクスシリーズ -- エレクトロニクス材料・物性・デバイス
原央／編 -- 培風館 -- １９９７．０６ -- ２２ｃｍ -- ２８６ｐ

タイトル	ＵＬＳＩプロセス技術
シリーズ名	アドバンストエレクトロニクスシリーズエレクトロニクス材料・物性・デバイス
著者名等	原央／編
出版	培風館１９９７．０６
大きさ等	２２ｃｍ２８６ｐ
分類	549.7
件名	集積回路
内容	各章末：参考文献
要旨	ＩＣから、ＵＬＳＩ、さらにＧＳＩへと発展しようとしている集積回路は、高度情報・通信社会の基盤を支える技術である。本書はこれら最先端の集積回路を実現するために必要な、広範囲なプロセス技術に関する解説書である。
目次	１　集積回路の構造と必要なプロセス技術；２　微細加工技術；３　簿膜堆積技術；４　酸化膜技術；５　不純物導入技術；６　清浄化技術；７　結晶成長技術；８　高・強誘電体薄膜形成技術；９　プロセスモジュール技術；１０　プロセスシミュレーション技術；１１　ＵＬＳＩプロセス技術の将来動向と課題
ISBN(13)、ISBN	4-563-03617-X
書誌番号	1197035977
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1197035977

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		549.7/132	一般書	利用可	-	2011391454