資料詳細

【図書】 超高真空

テクノライフ選書 --
清水肇／〔ほか〕編著 -- オーム社 -- １９９７．１１ -- １９ｃｍ -- １４１ｐ

タイトル	超高真空
シリーズ名	テクノライフ選書
著者名等	清水肇／〔ほか〕編著
出版	オーム社１９９７．１１
大きさ等	１９ｃｍ１４１ｐ
分類	534.93
件名	真空技術
内容	参考文献：ｐ１４１
要旨	加速器、核融合といったビッグサイエンスから電子デバイスの開発、表面科学などなどたくさんの研究開発を支える基盤技術―超高真空。本書はいまやエレクトロニクス分野では不可欠なものとして利用されるようになった超高真空の技術と、いまどのような新しい発見がなされているかをわかりやすく解き明かします。
目次	１章　超真空をつくる；２章　超高真空を制御する；３章　超高真空中で駆動する；４章　超高真空中を利用する；５章　超高真空を利用したビックサイエンス
ISBN(13)、ISBN	4-274-02360-5
書誌番号	1197076145
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1197076145

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		534.9/42	一般書	利用可	-	2012580234