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【図書】 半導体製造装置用語辞典

第４版 --
日本半導体製造装置協会 ／編   -- 日刊工業新聞社 -- １９９７．１１ -- ２２ｃｍ -- ５４７ｐ

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タイトル 半導体製造装置用語辞典
版情報 第４版
著者名等 日本半導体製造装置協会 ／編  
出版 日刊工業新聞社 １９９７．１１
大きさ等 ２２ｃｍ ５４７ｐ
分類 549.8
件名 半導体－辞典
内容 引用文献一覧表：ｐ４５２
要旨 半導体デバイスを製造する７つの行程順に用語を分類、用語の追加、削除、統合を行い、２６１２語を収録した用語辞典。巻末に略語・日本語索引、英語索引が付く。
目次 第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成；第２章　設計工程用語；第３章　マスク製作工程用語；第４章　ウェーハ製造工程用語；第５章　ウェーハ処理工程用語；第６章　組立工程用語；第７章　検査工程用語；第８章　設備・環境工程用語
ISBN(13)、ISBN 　　 4-526-04090-8
書誌番号 1197076688

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.8/3/1997 一般書 利用可 館内のみ 2012602645 iLisvirtual

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