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【図書】 透明導電膜の技術

日本学術振興会透明酸化物光・電子材料第１６６委員会 ／編   -- オーム社 -- １９９９．０３ -- ２２ｃｍ -- ２８９ｐ

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タイトル 透明導電膜の技術
著者名等 日本学術振興会透明酸化物光・電子材料第１６６委員会 ／編  
出版 オーム社 １９９９．０３
大きさ等 ２２ｃｍ ２８９ｐ
分類 549.8
件名 薄膜
内容 文献あり　索引あり
要旨 本書は、透明導電性酸化物薄膜材料に関する技術解説書である。関連産業とその技術の社会的位置づけ、および透明導電膜の歴史、物質科学、応用例を述べ、関連する材料科学を紹介、実用デバイスへの薄膜の応用にあたって必要となる技術、薄膜の作製法、微細加工法、および機能の評価方法を詳細に解説している。最後に、薄膜作製にあたって必要となる材料および装置の入手に関するデータを付録としてまとめた。
目次 第１章　地球環境・エネルギー・情報化社会；第２章　透明導電膜は何に使われるか；第３章　透明導電膜材料の基礎的な性質は何か；第４章　透明導電膜の材料にはどんなものがあるか；第５章　透明導電膜はどのようにして作るか；第６章　透明導電膜をいかに微細加工するか；第７章　透明導電膜はどのように評価するか
ISBN(13)、ISBN 　　 4-274-03516-6
書誌番号 1199019044
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1199019044

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549/339 一般書 利用可 - 2016919368 iLisvirtual

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