資料詳細

【図書】 二次イオン質量分析法

表面分析技術選書 --
日本表面科学会／編 -- 丸善 -- １９９９．０７ -- ２１ｃｍ -- １９５ｐ

タイトル	二次イオン質量分析法
シリーズ名	表面分析技術選書
著者名等	日本表面科学会／編
出版	丸善１９９９．０７
大きさ等	２１ｃｍ１９５ｐ
分類	433.2
件名	質量分析
内容	文献あり　索引あり
要旨	エレクトロニクス材料をはじめとする各種材料およびこれらを利用した機能デバイスの高度化に伴い、材料の表面・界面の正しい評価および管理技術が重要度を増してきた。日本表面科学会では、このようなニーズに応えるために「表面分析技術選書」を企画した。本書は、その企画の一環として執筆したＳＩＭＳの実用書であり、世界で最初に試みた単行本であるといえる。
目次	１　二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）の概要；２　ＳＩＭＳの原理；３　ＳＩＭＳ装置；４　ＳＩＭＳの測定法；５　定性分析；６　定量分析；７　各種分析モードと解析例；８　ＳＩＭＳおよびＳＩＭＳ関連技術の新しい展開
ISBN(13)、ISBN	4-621-04623-3
書誌番号	1199038164
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1199038164

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		433.2/13	一般書	利用可	-	2017519819