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【図書】 半導体工場ハンドブック ２００３

産業タイムズ社 -- ２００２．１２ -- ２８ｃｍ -- １３３ｐ

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タイトル 半導体工場ハンドブック ２００３
出版 産業タイムズ社 ２００２．１２
大きさ等 ２８ｃｍ １３３ｐ
分類 549.8
件名 半導体
注記 ２００３のサブタイトル：生産性とスピードを追求する次世代ラインの全貌
要旨 生産性とスピードを追求する次世代ラインの全貌を公開。
目次 巻頭特集　日本半導体の構造改革―大型企業再編と次世代開発プロジェクト；第１部　新世代技術に挑む次世代半導体工場（２００２～２００３年半導体業界展望；国内における半導体前工程工場の新増設計画　ほか）；第２部　新技術・材料・プロセスに挑む装置・材料メーカー動向（リソグラフィー装置・材料；熱処理装置・イオン注入装置　ほか）；第３部　工場ルポ２００２―生産性の革新に挑む国内半導体工場（（株）東芝セミコンダクターズ社大分工場；富士通（株）あきる野テクノロジーセンター　ほか）；第４部　半導体工場分布図・ディレクトリー（半導体工場分布図（地域別）；台湾半導体工場マップ　ほか）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-88353-081-7
書誌番号 1102077721
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1102077721

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.8/48/2003 一般書 利用可 館内のみ 2028416175 iLisvirtual

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