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1 件中、 1 件目
【図書】
半導体工場ハンドブック 2003
産業タイムズ社 -- 2002.12 -- 28cm -- 133p
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資料詳細
タイトル
半導体工場ハンドブック 2003
出版
産業タイムズ社 2002.12
大きさ等
28cm 133p
分類
549.8
件名
半導体
注記
2003のサブタイトル:生産性とスピードを追求する次世代ラインの全貌
要旨
生産性とスピードを追求する次世代ラインの全貌を公開。
目次
巻頭特集 日本半導体の構造改革―大型企業再編と次世代開発プロジェクト;第1部 新世代技術に挑む次世代半導体工場(2002~2003年半導体業界展望;国内における半導体前工程工場の新増設計画 ほか);第2部 新技術・材料・プロセスに挑む装置・材料メーカー動向(リソグラフィー装置・材料;熱処理装置・イオン注入装置 ほか);第3部 工場ルポ2002―生産性の革新に挑む国内半導体工場((株)東芝セミコンダクターズ社大分工場;富士通(株)あきる野テクノロジーセンター ほか);第4部 半導体工場分布図・ディレクトリー(半導体工場分布図(地域別);台湾半導体工場マップ ほか)
ISBN(13)、ISBN
4-88353-081-7
書誌番号
1102077721
URL
https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1102077721
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所蔵
所蔵は
1
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所蔵館
所蔵場所
別置
請求記号
資料区分
状態
取扱
資料コード
中央
書庫
549.8/48/2003
一般書
利用可
館内のみ
2028416175
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