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【図書】 イオン工学技術の基礎と応用

平尾孝 ／〔ほか〕共著   -- 工業調査会 -- １９９２．４ -- ２１ｃｍ -- ２７４ｐ

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タイトル イオン工学技術の基礎と応用
著者名等 平尾孝 ／〔ほか〕共著  
出版 工業調査会 １９９２．４
大きさ等 ２１ｃｍ ２７４ｐ
分類 549.1
件名 イオン , イオンビーム
目次 第１章　イオン工学技術の現状と展望；第２章　イオン工学技術関連の基礎事項；第３章　イオン注入技術；第４章　イオンビームミキシング技術；第５章　薄膜形成技術；第６章　微細加工技術；第７章　集束イオンビーム技術；第８章　分析技術
ISBN(13)、ISBN 　　 4-7693-1094-3
書誌番号 1190432049
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190432049

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.1/19 一般書 利用可 - 0005011752 iLisvirtual

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