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1 件中、 1 件目
【図書】
イオン工学技術の基礎と応用
平尾孝
/〔ほか〕共著 --
工業調査会 -- 1992.4 -- 21cm -- 274p
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資料詳細
タイトル
イオン工学技術の基礎と応用
著者名等
平尾孝
/〔ほか〕共著
出版
工業調査会 1992.4
大きさ等
21cm 274p
分類
549.1
件名
イオン
,
イオンビーム
目次
第1章 イオン工学技術の現状と展望;第2章 イオン工学技術関連の基礎事項;第3章 イオン注入技術;第4章 イオンビームミキシング技術;第5章 薄膜形成技術;第6章 微細加工技術;第7章 集束イオンビーム技術;第8章 分析技術
ISBN(13)、ISBN
4-7693-1094-3
書誌番号
1190432049
URL
https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190432049
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所蔵
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所蔵館
所蔵場所
別置
請求記号
資料区分
状態
取扱
資料コード
中央
書庫
549.1/19
一般書
利用可
-
0005011752
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