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【図書】 薄膜化技術

第２版 --
和佐清孝，早川茂 ／著, 　   -- 共立出版 -- １９９２．９ -- ２２ｃｍ -- ２８２ｐ

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タイトル 薄膜化技術
版情報 第２版
著者名等 和佐清孝，早川茂 ／著, 　  
出版 共立出版 １９９２．９
大きさ等 ２２ｃｍ ２８２ｐ
分類 549.8
件名 薄膜
注記 折り込表１枚
内容 各章末：文献
目次 第１部　薄膜とその応用（薄膜材料；薄膜の形成法と評価；スパッタプロセスにおける興味ある現象）；第２部　スパッタの基礎と応用（スパッタの基礎；スパッタ装置と動作特性；化合物薄膜とスパッタ蒸着）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-320-08497-7
書誌番号 1193010638
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1193010638

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.8/68 一般書 利用可 - 0005097401 iLisvirtual

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