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1 件中、 1 件目
【図書】
薄膜化技術
第2版 --
和佐清孝,早川茂
/著,
--
共立出版 -- 1992.9 -- 22cm -- 282p
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資料詳細
タイトル
薄膜化技術
版情報
第2版
著者名等
和佐清孝,早川茂
/著,
出版
共立出版 1992.9
大きさ等
22cm 282p
分類
549.8
件名
薄膜
注記
折り込表1枚
内容
各章末:文献
目次
第1部 薄膜とその応用(薄膜材料;薄膜の形成法と評価;スパッタプロセスにおける興味ある現象);第2部 スパッタの基礎と応用(スパッタの基礎;スパッタ装置と動作特性;化合物薄膜とスパッタ蒸着)
ISBN(13)、ISBN
4-320-08497-7
書誌番号
1193010638
URL
https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1193010638
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所蔵
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所蔵館
所蔵場所
別置
請求記号
資料区分
状態
取扱
資料コード
中央
書庫
549.8/68
一般書
利用可
-
0005097401
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