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1 件中、 1 件目
【図書】
低温プラズマ材料化学
長田義仁
/編著 --
産業図書 -- 1994.03 -- 22cm -- 296p
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タイトル
低温プラズマ材料化学
著者名等
長田義仁
/編著
出版
産業図書 1994.03
大きさ等
22cm 296p
分類
501.4
件名
工業材料
注記
各章末:参考文献
目次
第1章 低温プラズマによる物質創製の意義;第2章 プラズマの化学;第3章 プラズマCVD;第4章 イオンプレーティング;第5章 スパッタリング;第6章 プラズマ重合;第7章 プラズマ表面処理;第8章 プラズマエッチング
ISBN(13)、ISBN
4-7828-2053-4
書誌番号
1194029365
URL
https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1194029365
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所蔵
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所蔵館
所蔵場所
別置
請求記号
資料区分
状態
取扱
資料コード
中央
書庫
501.4/144
一般書
利用可
-
0008890250
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