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【図書】 低温プラズマ材料化学

長田義仁 ／編著   -- 産業図書 -- １９９４．０３ -- ２２ｃｍ -- ２９６ｐ

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タイトル 低温プラズマ材料化学
著者名等 長田義仁 ／編著  
出版 産業図書 １９９４．０３
大きさ等 ２２ｃｍ ２９６ｐ
分類 501.4
件名 工業材料
注記 各章末：参考文献
目次 第１章　低温プラズマによる物質創製の意義；第２章　プラズマの化学；第３章　プラズマＣＶＤ；第４章　イオンプレーティング；第５章　スパッタリング；第６章　プラズマ重合；第７章　プラズマ表面処理；第８章　プラズマエッチング
ISBN(13)、ISBN 　　 4-7828-2053-4
書誌番号 1194029365
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1194029365

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 501.4/144 一般書 利用可 - 0008890250 iLisvirtual

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