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【図書】 イオン応用機器概論

磯部昭二 ／〔ほか〕著   -- 開発社 -- １９９４．０３ -- ２２ｃｍ -- １３５ｐ

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タイトル イオン応用機器概論
著者名等 磯部昭二 ／〔ほか〕著  
出版 開発社 １９９４．０３
大きさ等 ２２ｃｍ １３５ｐ
分類 549
件名 電子機器
注記 監修：岩木正哉　各章末：文献
目次 イオン技術応用分野とイオン機器の需要動向；半導体イオン注入；金属改質イオン注入；薄膜生成イオン応用；微細加工；企業及び研究機関
ISBN(13)、ISBN 　　 4-7591-0086-5
書誌番号 1194037945
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1194037945

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549/472 一般書 利用可 - 0009225056 iLisvirtual

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