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【図書】
イオン応用機器概論
磯部昭二
/〔ほか〕著 --
開発社 -- 1994.03 -- 22cm -- 135p
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タイトル
イオン応用機器概論
著者名等
磯部昭二
/〔ほか〕著
出版
開発社 1994.03
大きさ等
22cm 135p
分類
549
件名
電子機器
注記
監修:岩木正哉 各章末:文献
目次
イオン技術応用分野とイオン機器の需要動向;半導体イオン注入;金属改質イオン注入;薄膜生成イオン応用;微細加工;企業及び研究機関
ISBN(13)、ISBN
4-7591-0086-5
書誌番号
1194037945
URL
https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1194037945
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所蔵
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所蔵館
所蔵場所
別置
請求記号
資料区分
状態
取扱
資料コード
中央
書庫
549/472
一般書
利用可
-
0009225056
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