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【図書】 図解システムＬＳＩ入門

相良岩男 ／著   -- 日刊工業新聞社 -- ２０００．０３ -- ２１ｃｍ -- ２０３ｐ

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タイトル 図解システムＬＳＩ入門
著者名等 相良岩男 ／著  
出版 日刊工業新聞社 ２０００．０３
大きさ等 ２１ｃｍ ２０３ｐ
分類 549.7
件名 集積回路
注記 並列タイトル：Ｌａｒｇｅ　ｓｃａｌｅ　ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　ｃｉｒｃｕｉｔ
内容 文献あり　索引あり
要旨 半導体は、２１世紀に向けて、ＩＣの集積化ともいうべき驚異的な性能を持つ革命ともいうべきシステムＬＳＩが登場しようとしている。このシステムＬＳＩでは、ワン・チップに１０億素子規模の集積が可能となり、これによりデジタル・テレビやマルチメディア・パソコンなどのシステム規模のＩＣが実現できるようになる。だが、これを実現するには、システム・レベルの膨大な電子回路をどのようにして設計するか、極限に迫る微細化プロセスをどのように構築するか、ということを同時に解決しなければならない。前者が新しいＥＤＡであり、後者が新しいプロセスということになる。本書は、この新しいＥＤＡと新しいプロセスについて、最新技術の一端に触れてみた。
目次 １　システムＬＳＩのＥＤＡ設計（システムＬＳＩとは；論理回路からＬＳＩへ；高速・低電力ＭＯＳ技術；システムＬＳＩ設計フロー）；２　システムＬＳＩの製造技術（前処理工程；ホト・リソグラフィ技術；微細化エッチング技術；熱酸化膜とＣＶＤ技術　ほか）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-526-04528-4
書誌番号 1100016656
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1100016656

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 Map 549.7 一般書 利用可 - 2019174690 iLisvirtual

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