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【図書】 荷電粒子ビーム工学

石川順三 ／著   -- コロナ社 -- ２００１．０５ -- ２１ｃｍ -- ３０２ｐ

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タイトル 荷電粒子ビーム工学
著者名等 石川順三 ／著  
出版 コロナ社 ２００１．０５
大きさ等 ２１ｃｍ ３０２ｐ
分類 549
件名 電子流 , イオンビーム
注記 並列タイトル：Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｏｆ　ｃｈａｒｇｅｄ　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ｂｅａｍｓ
内容 文献あり　索引あり
要旨 本書では、電子だけでなくイオンも含めた荷電粒子の発生、ビーム輸送・操作に加えて、それらを用いた材料プロセスも重要なテーマであると位置づけ、荷電粒子ビームと固体との相互作用の入門的な記述も加え、また、電子およびイオンビーム技術に関し、その基本となる基礎現象の理解ができるだけ得られるように、現象の物理的意味をわかりやすく解説している。
目次 １　荷電粒子ビームの特質と利用形態；２　電子とイオン；３　電子の発生とビーム形成；４　イオンの発生とビーム形成；５　ビーム輸送と操作；６　ビームと固体原子の相互作用；７　高周波エネルギー変換デバイス；８　荷電粒子ビーム装置
ISBN(13)、ISBN 　　 4-339-00734-X
書誌番号 1101026178
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1101026178

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549/490 一般書 利用可 - 2024437461 iLisvirtual

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