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【図書】 超微細加工の基礎

電子デバイスプロセス技術 -- 第２版 --
麻蒔立男 ／著   -- 日刊工業新聞社 -- ２００１．０９ -- ２１ｃｍ -- ２９５ｐ

資料詳細

タイトル 超微細加工の基礎
副書名 電子デバイスプロセス技術
版情報 第２版
著者名等 麻蒔立男 ／著  
出版 日刊工業新聞社 ２００１．０９
大きさ等 ２１ｃｍ ２９５ｐ
分類 549.8
件名 半導体 , 精密加工
内容 索引あり
目次 超微細加工；単結晶とガラスの基板；熱酸化；リソグラフィー（露光・描画技術）；エッチング；ドーピング―熱拡散とイオン注入；薄膜の基本的性質と薄膜作成法の概要；気相成長法・ＣＶＤ・エピタクシー；蒸着とイオンプレーティング；スパッタ；精密めっき；平坦化技術
ISBN(13)、ISBN 　　 4-526-04812-7
書誌番号 1101059730
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1101059730

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.8/305 一般書 利用可 - 2025805405 iLisvirtual

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