【図書】 シリコンマイクロ加工の基礎
M.エルベンスポーク /著, H.V.ヤンセン /著, 田畑修 /訳, 佐藤一雄 /訳, , -- シュプリンガー・フェアラーク東京 -- 2001.12 -- 27cm -- 431p
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