資料詳細

【図書】 薄膜作製応用ハンドブック

２１世紀版 --
小川正毅／編, 多賀康訓／編, 權田俊一／監修 -- エヌ・ティー・エス -- ２００３．４ -- ２７ｃｍ -- １冊

タイトル	薄膜作製応用ハンドブック
副書名	２１世紀版
著者名等	小川正毅／編, 多賀康訓／編, 權田俊一／監修
出版	エヌ・ティー・エス２００３．４
大きさ等	２７ｃｍ１冊
分類	549
件名	薄膜
注記	索引あり
目次	第１編　薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特徴と特性；薄膜材料の電気特性　ほか）；第２編　薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法　ほか）；第３編　薄膜・表面・界面の分析と評価（薄膜・表面・界面の分析・評価；薄膜分析・評価対象各論）；第４編　薄膜技術の応用と展望（半導体デバイス；光部品　ほか）
ISBN(13)、ISBN	4-86043-019-0
書誌番号	1103034686
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1103034686

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学 Map	参考書	549	一般書	利用可	館内のみ	2029446817