資料詳細

【図書】 最新　半導体プロセス技術 ’０５

Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　＆　ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ --
Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ＦＰＤ　ｗｏｒｌｄ編集部／編 -- プレスジャーナル -- ２００４．７ -- ２８ｃｍ -- ３８８ｐ

タイトル	最新　半導体プロセス技術 ’０５
副書名	Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　＆　ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ
著者名等	Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ＦＰＤ　ｗｏｒｌｄ編集部／編
出版	プレスジャーナル２００４．７
大きさ等	２８ｃｍ３８８ｐ
分類	549.8
件名	半導体
注記	『Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ＦＰＤ　ｗｏｒｌｄ』増刊号
要旨	６５ｎｍ時代を担うプロセス・装置・材料技術のリーディングエッジを完全カバー。
目次	総論―６５ｎｍ時代におけるブレイクスルー；リソグラフィ技術；フロントエンドプロセス；バックエンドプロセス；洗浄技術；前工程検査・測定技術；アセンブリ・パッケージ技術；テスティング技術；付帯設備・部品；資料
ISBN(13)、ISBN	4-89466-147-0
書誌番号	1104052773
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1104052773

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		549.8/51/2005	一般書	利用可	-	2032406010