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【図書】 半導体製造装置用語辞典

第６版 --
日本半導体製造装置協会 ／編   -- 日刊工業新聞社 -- ２００６．９ -- ２１ｃｍ -- ５６４ｐ

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タイトル 半導体製造装置用語辞典
版情報 第６版
著者名等 日本半導体製造装置協会 ／編  
出版 日刊工業新聞社 ２００６．９
大きさ等 ２１ｃｍ ５６４ｐ
分類 549.8
件名 半導体－辞典
注記 文献あり　索引あり
目次 第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成；第２章　設計工程用語；第３章　マスク製作工程用語；第４章　ウェーハ製造工程用語；第５章　ウェーハプロセス工程用語；第６章　組立工程用語；第７章　検査工程用語；第８章　設備・環境工程用語；資料
ISBN(13)、ISBN 　　 4-526-05740-1
書誌番号 1106068817
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1106068817

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中央 ４階自然科学 Map 参考書 549.8 一般書 利用可 館内のみ 2037488740 iLisvirtual

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